激光测试仪是一种用于力学领域的分析仪器，于2013年3月29日启用。主要用于压电声波器件高频振动的微小变形测量 ，显微激光测振仪是非接触式扫描式测试仪 。
激光测试仪的振动频率范围为5MHZ~1GHZ，变形（位移）测量范围为1nm~100nm 。3D轮廓仪支持3200像素点/轮廓的测量，1D点激光的采样频率为392kHz，重复精度为0.005µm 。显微激光测振仪的位移分辨率为1pm，速度分辨率为0.01um/s/√Hz 。
想要了解更多“激光测试仪”的信息，请点击：激光测试仪百科
激光测试仪是一种用于力学领域的分析仪器，于2013年3月29日启用。主要用于压电声波器件高频振动的微小变形测量 ，显微激光测振仪是非接触式扫描式测试仪 。
激光测试仪的振动频率范围为5MHZ~1GHZ，变形（位移）测量范围为1nm~100nm 。3D轮廓仪支持3200像素点/轮廓的测量，1D点激光的采样频率为392kHz，重复精度为0.005µm 。显微激光测振仪的位移分辨率为1pm，速度分辨率为0.01um/s/√Hz 。
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