超声波流量计仪

超声波流量计仪

超声波流量计仪是一种用于半导体制造中涂布、清洗等工艺的药液流量管理的测量仪器。它主要用于监控超纯水、高纯度药品及光刻胶等流体的流量 。

该仪器采用非接触式外夹设计,安装时无需破管,可避免污染风险并实现零压力损失 。其基于时差法原理工作,具有高精度与良好的重复性,适用于对洁净度要求高的场合 。

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