真空膜盒是2003年公布的机械工程名词 ，指内腔呈真空状态或微量空气状态的膜盒 。其密闭内腔真空用于感受绝对压力并输出位移 ，或利用弹跳膜片特性控制开关通断 。在传感器应用中，膜盒感受压力变化驱动操纵杆，通过可变电阻器等方式转换为电信号 。该术语出自《机械工程名词 第三分册》 。静电封装技术作为一种新工艺被应用于制造硅真空膜盒组件 。
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真空膜盒是2003年公布的机械工程名词 ，指内腔呈真空状态或微量空气状态的膜盒 。其密闭内腔真空用于感受绝对压力并输出位移 ，或利用弹跳膜片特性控制开关通断 。在传感器应用中，膜盒感受压力变化驱动操纵杆，通过可变电阻器等方式转换为电信号 。该术语出自《机械工程名词 第三分册》 。静电封装技术作为一种新工艺被应用于制造硅真空膜盒组件 。
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